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Ultra-trace analysis

最先端の分析装置と豊富な実績で
薬剤・薬品・溶媒中に含まれる金属不純物の管理をサポートいたします

POINT1

ppt、ppbオーダーの高感度で、
低濃度まで分析が可能。

POINT2

ICP-QQQやクリーンルーム(クラス1)など最新鋭の設備により限りなく汚染の少ない測定環境を整えています。

極微量分析について

極微量分析は、元素分析においては1μg/L(ppb)以下の低濃度を対象にした分析です。
半導体等に使用される有機溶剤や、無機工業薬品中に金属元素が含まれていると、不純物となり半導体の性能に悪影響を及ぼします。
より高純度の薬液を使用するためにも、極微量金属の管理と分析が必要不可欠です。

設備紹介
スーパークリーンルーム

当社は汚染を限りなく減少させるため、世界最上級の清浄度ISOクラス1※1のクリーン空間を生成する、スーパークリーン生成装置「KOACH(興研)」を導入しています。

※1「ISOクラス1」とは、ISO規格で1m3当たりの空気中に0.1μm以上の粒子が10個以下となります。
クラス数が小さいほど、より汚染が少ない環境を指します。

ISO規格
トリプル四重極ICP質量分析装置

極微量の金属元素分析を行う上で、干渉の抑制が必要不可欠です。
従来のシングル四重極では化学的性質の制御が困難であった、Si、Pなどの元素についても、トリプル四重極ICP質量分析装置(ICP-QQQ)を使用することでppt、ppbオーダーの高感度で測定する事ができます。

次世代型ス-パークリーンルーム(クラス1)
トリプル四重極ICP質量分析装置(ICP-QQQ)
超純水製造装置(ピューリックωⅡ)

特徴

  • 金属の一斉分析が可能
  • 装置へ直接導入することで、時間とコストを削減しつつ精度向上
主な適用サンプル
有機溶媒 IPA、PGME、PGMEA、NMP 他
無機工業薬品 硫酸、塩酸、硝酸、苛性ソーダ、アンモニア水、過酸化水素 他

その他の薬剤の分析も承っております。

分析可能な元素
測定事例(PGMEA中の極微量金属分析)

pptレベルまで総計可能なだけでなく、高濃度が予想される濃度不明の試料も対応いたします。

分析の流れ

お問い合わせフォームまたはお電話、メールよりお気軽にお問い合わせください。

TEL:0748-32-5001
Mail:online@hiyoshi-es.co.jp
(担当者:吉原、奥長)